該化學氣相沉積爐（碳化硅）可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
18874256050湖南頂立科技有限公司2022-11-07 16:43:18
立式化學氣相沉積爐可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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立式化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理
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化學氣相沉積爐（沉積炭）可用于以碳氫氣體（如C3H8等）為碳源的材料表面或基體等溫CVD/CVI處理。
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