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表面顆粒計數(shù)器U-III 

概述:智能微粒檢測儀、表面顆粒檢測器

刷新時間:
2025-03-24 11:33:45 點擊2524次
標簽:
服務區(qū)域:
全國
價格:
  • 248000 元
聯(lián)系電話:
15389451922
信用:4.0  隱性收費:4.0
描述:4.0  產(chǎn)品質量:4.0
物流:4.0  服務態(tài)度:4.0
默認4分 我要打分
UK MICRON OPTOELECTRONICS的表面粒子檢測器系列通過以下技術實現(xiàn)電子半導體行業(yè)表面污染的量化監(jiān)測和控制:
核心技術原理
界面顆粒再懸浮技術‌:采用先進界面技術,通過物理或氣流方式將附著在關鍵表面的顆粒重新懸浮,便于后續(xù)檢測。
高精度光學檢測:基于激光光學傳感器和光散射原理,實時捕獲懸浮粒子的散射光信號,實現(xiàn)單個粒子尺寸的精確分析。
關鍵性能指標
分辨率達0.1微米,支持納米級顆粒檢測;
配備靜態(tài)采樣模式,提升測量精度和穩(wěn)定性;符合ISO-14644-9表面粒子控制標準,滿足半導體制造中對潔凈度的嚴苛要求。
行業(yè)應用優(yōu)勢
減少50%以上的自凈時間及顆粒數(shù),縮短PM周期,提升制造效率;
通過實時監(jiān)測表面污染,降低因顆粒導致的良率損失和可靠性風險;
適用于晶圓、光學元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
系統(tǒng)集成設計
支持USB數(shù)據(jù)導出和軟件升級,便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接;
采用雙電池熱插拔設計,適應連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。
該系列設備通過量化表面污染數(shù)據(jù),為半導體制造中的過程控制提供標準化依據(jù),從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器:第七代雙激光窄光檢測器,壽命>200000次
測量粒徑:A 0.3um、2.5um、10um;
          B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um;
          C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um;
          D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um;
          E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um;
          F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差:≤±30%
濃度示值誤差:≤±30%
重復相對偏差:≤±10%FS
重疊誤差:當每立方英尺2,000,000個粒子時小于5%
氣體檢測:可同時檢測氣體濃度,支持1-3個各種類型的氣體傳感器
溫度范圍:-40 ~ 120℃
檢定標準:計數(shù)報告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標準或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速:2.83L/min,28.3L/min(可選);
采樣時間:3、6、9、12、15、30、60秒(可選);
檢測模式:數(shù)量模式;質量模式; 凈效模式;三種檢測模式可切換
檢測方式:定時檢測、循環(huán)檢測可設置     
報警方式:自定義數(shù)量報警值、質量報警值
限值報警:RS485信號報警或外接聲光報警器
法 規(guī) 性:權限管控、審計追蹤、電子記錄等
合 規(guī) 性:符合ISO 21501-4,CE,JIS B9921
合 規(guī) 性:符合21 CFR Part 11
通訊接口:RS232、R485、LAN-USB
存儲模式:實時存儲、定時存儲可設置;可存儲數(shù)據(jù)無限制
打印模式:可選配微型打印機打印數(shù)據(jù)
工作溫度:5 ~ 45℃
工作電源:AC 100-240V, 50 Hz/60 Hz
工作濕度:≤90%RH,無冷凝
表面顆粒計數(shù)器U-III
[本信息來自于今日推薦網(wǎng)]
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