SIMCO離子風棒5635
概述：簡 介 5635型MP離子風棒，是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
簡 介
5635型MP離子風棒，是對應用在先端半導體制造工程等100nm以下的微小型顆料除靜電器。
特點：
Ø 采用在世界上無與倫比的電極材料單晶硅的優(yōu)勢，避免超低顆料特性的電極材料的重金屬污染的風險。
Ø 通過獨特的MP（脈沖調制）方式，可以有效的發(fā)揮離子除電性能。
Ø 平衡的電位，即使是在距100mm的距離也可用使用的特性及靜電桿長且離子平衡度好。
Ø 通過智能控制電路，可自動管理離子發(fā)生狀態(tài)及離子平衡度。
Ø 1/4圈可以拆卸更換電極，有助于減少維護工時。
Ø 電位波動小的MP方式的特性，簡化了組裝。另外，電位波動小可以保持離子平衡度在管理的基準內。
Ø 設定了適合半導體前工序EFEM用的除靜電棒長度。
Ø 內置24V DC驅動控制器的小巧緊湊型設計。
Ø 可用于全球高層次網絡。
產 品 規(guī) 格
輸入電壓
24V DC + / -10％
輸出電壓
最大可調至約13.5kv PP
安裝距離
100毫米?1000毫米（無空氣凈化）
離子生成方式
電暈放電法
PM（脈沖變調）方式 變動頻率 1 ～ 33 Hz
離子平衡度
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