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SEM掃描電子顯微鏡檢測服務 

概述: 儀器簡介】 掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以
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儀器簡介】

掃描電子顯微鏡的制造是依據電子與物質的相互作用。當一束高能的入射電子轟擊物質表面時,被激發的區域將產生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續譜X射線、背散射電子、透射電子,以及在可見、紫外、紅外光區域產生的電磁輻射。同時,也可產生電子-空穴對、晶格振動 (聲子)、電子振蕩 (等離子體)。原則上講,利用電子和物質的相互作用,可以獲取被測樣品本身的各種物理、化學性質的信息,如形貌、組成、晶體結構、電子結構和內部電場或磁場等等。

聚光鏡:可變焦聚光鏡 物鏡:超級錐形物鏡 物鏡光闌:3檔,X-Y可細調

電位移:±50微米 自動功能:聚焦,亮度,襯度,消像散 

最大樣品:直徑:150mm 樣品交換:抽拉式樣品臺 

真空系統:全自動擴散泵DP。分子泵TMP.

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