白光干涉儀測薄膜表面起伏

各種光學鏡片和玻璃等超精密加工產物，其表面質量等級非常高。如果采用接觸式的輪廓儀，會劃傷器件表面，而一般的非接觸式光學影像方法，也沒有辦法克服它的高透明度特性。用光學干涉原理研制成的中圖儀器的SuperView W1白光干涉儀，為玻璃和光學鏡片的表面質量提供了標準解決方案。 玻璃表面臺階檢測 透明玻璃表面鍍的一層金屬膜，因為其非透明特性，薄膜測厚儀沒有辦法測膜層厚度。況且膜層厚度的精度是在納米級別的，不管是非接觸式光學儀器還是接觸式臺階儀，都存在測量誤差，而中......

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