高壓除泡機裝置ELT

產品特色 　　真空+壓力除泡，實現大氣泡去除 　　大幅提高UPH 　　高品質/高信賴性 　　多樣性工藝/材料應用 　　高速升溫/冷卻大幅短縮制程時間 　　低含氧量自動控制/紀錄 　　降低揮發物污染設計 　　產品應用 　　芯片黏著(DAF) 　　打印/灌封 　　通過灌裝/涂層 　　毛細管內灌裝 　　封裝 　　模具覆膜 　　晶圓層壓 ......